高温退火炉高温计的校温技术说明

　　据介绍，高温退火炉采用由加速数字PLD温度控制器、热电偶、高温计和热源组成的闭环控制系统，正确控制温度。通过对不同区域卤素灯管的协同控制，可以补偿温度控制过程中每个区域的温差，使基板上不同区域的温度保持不变。由于安装在腔体底部，高温计只能接收来自基板背面的辐射，而不能接收来自灯的辐射。因此，高温计可以正确地测量衬底的温度。该高温计的温度校准原理如下：

　　1、高温计简介：

　　本文介绍的高温计是一种热辐射光学高温计。当高温计接收到来自被测物体的红外辐射时，光学信号经过滤波、光电转换和放大处理，成为模拟信号，并传输到传感器的信号接口电路模块。该模块对信号进行A/D转换，并将其转换为计算机可以识别的数字信号。反馈给计算机的数字信号在下文中被称为高温计反馈值。

　　2、温度校准表：

　　根据相关定律，物体的温度与其辐射和光谱发射率有关。对于高温退火炉，高温计接收的辐射量主要取决于衬底材料、掺杂、表面天然氧化物层和衬底温度等因素。对于相同类型的衬底（即具有相同材料、掺杂和表面天然氧化物层的衬底），高温计接收的辐射量与衬底温度有关。因此，对于相同类型的衬底，高温计的反馈值与衬底温度一一对应。该对应关系构成温度校准数据，并且温度校准表是用于存储多个衬底温度与高温计的反馈值之间的关系数据的表。不同的温度对应于高温计的不同反馈值。高温退火炉计算机可以根据高温计反馈的信号值和温度校准表计算出基板的实际温度。