培析高温退火炉中高温计的校温原理

　　据悉，高温退火炉采用由加速数字PLD温控器、热电偶、高温计以及热源组成的闭环式控制系统来准确控温。经对不同区间的卤素管灯作了协同控制，可补偿温度控制过程中各个区域的温度差异，使得衬底上不同区域温度保持一样。因被装于腔体的底部，高温计只可以收到衬底背面的辐射，而没法接到灯的辐射。所以，高温计能准确的测量到衬底的温度。该款高温计校温的原理如下：

　　一、高温计的介绍：

　　本文所述高温计为热辐射光学高温计，当高温计接收到被测物体的红外辐射时，光学信号经过过滤、光电转换和放大等处理后，变成模拟信号并被传输给传感器的信号接口电路模块。该模块对信号进行A/D转换，并将其转换为可被计算机识别的数字信号。下文将反馈给计算机的这个数字信号简称为高温计反馈值。

　　二、校温表：

　　根据相关定律，物体的温度与其辐射量及光谱发射率有关。对于高温退火炉来说，高温计接收到的辐射量主要取决于衬底材料，掺杂、表面自然氧化层以及衬底温度等因素。针对同种类型的衬底（即材料、掺杂和表面自然氧化层均相同的衬底），高温计接收到的辐射量与衬底温度有关。因此，对于同一种型号的衬底而言，高温计的反馈值与衬底温度一一对应。这种对应关系构成了校温数据，校温表就是用于保存若干个衬底温度与高温计反馈值之间关系数据的表格。不同的温度对应于不同的高温计反馈值，高温退火炉计算机根据高温计反馈的信号值和校温表，便可计算出衬底的实际温度。